产品简介

锐新晶棒滚磨机 单晶定向仪本系统专为单晶硅、碳化硅等半导体晶棒辊磨加工工艺开发，基于X射线衍射（XRD）技术实现晶向在线检测，测量精度达±30“，可实时反馈角度偏差并自动执行辊磨参数闭环修正。兼容6至12英寸晶棒规格，配备标准化工业通讯接口，支持与各类主流辊磨设备及产线控制系统深度集成，保障加工一致性与工艺稳定性。

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