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当前位置:首页产品中心定向仪晶棒/晶片定向仪RSO30-03锐新自动化晶棒定向仪

锐新自动化晶棒定向仪

产品简介

专为半导体晶棒加工设计的高精度X射线定向系统,用于晶棒端面及参考边修磨前的精准角度校准。设备结合高灵敏度闪烁探测器和伺服自动调节技术,实现超高重复精度。机身采用全金属半封闭防护设计,配备智能触摸屏,支持度分秒/度显示,可适配4/6/8英寸晶棒,并配合多台磨床使用,大幅提升加工效率与良率。

产品型号:RSO30-03
更新时间:2026-09-18
厂商性质:生产厂家
访问量:69
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锐新自动化晶棒定向仪特点:

智能伺服调节

自动调整晶棒角度,替代传统手动操作,减少人为误差

工业级防护设计

全金属半封闭结构,防尘防干扰,确保长期稳定运行

人机交互优化

触摸屏实时显示,支持于动设定标准角度,操作直观便捷

超高灵敏度探测器

计数率10^8/秒,无需反复调整,精准捕捉有效信号

锐新自动化晶棒定向仪参数:

衍射方式 单衍射
接收系统 闪烁探测器,计数率为10^8/秒
X管电流强度 0-1.0mA
检测精度 单衍射(x射线经过狭缝过滤射向样品):精度±30秒(或±0.0083度)
显示系统 度分秒显示,手动设置标准角度,实时显示被测晶体与标准角度偏差角度
测定角度 θ: 0∼+40°2θ:0∼+90°
检测工件尺寸 2寸、6寸、8寸,长度≤200mm
供电 单相AC220V供电,额定电流2.3A,额定功率500W
主要检测范围 本设备通过对晶棒X轴、y轴的测量调整后实现晶棒粘接步骤

 

 

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