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产品简介
专为半导体晶棒加工设计的高精度X射线定向系统,用于晶棒端面及参考边修磨前的精准角度校准。设备结合高灵敏度闪烁探测器和伺服自动调节技术,实现超高重复精度。机身采用全金属半封闭防护设计,配备智能触摸屏,支持度分秒/度显示,可适配4/6/8英寸晶棒,并配合多台磨床使用,大幅提升加工效率与良率。


锐新自动化晶棒定向仪特点:
智能伺服调节
自动调整晶棒角度,替代传统手动操作,减少人为误差
工业级防护设计
全金属半封闭结构,防尘防干扰,确保长期稳定运行
人机交互优化
触摸屏实时显示,支持于动设定标准角度,操作直观便捷
超高灵敏度探测器
计数率10^8/秒,无需反复调整,精准捕捉有效信号
锐新自动化晶棒定向仪参数:
| 衍射方式 | 单衍射 |
| 接收系统 | 闪烁探测器,计数率为10^8/秒 |
| X管电流强度 | 0-1.0mA |
| 检测精度 | 单衍射(x射线经过狭缝过滤射向样品):精度±30秒(或±0.0083度) |
| 显示系统 | 度分秒显示,手动设置标准角度,实时显示被测晶体与标准角度偏差角度 |
| 测定角度 | θ: 0∼+40°2θ:0∼+90° |
| 检测工件尺寸 | 2寸、6寸、8寸,长度≤200mm |
| 供电 | 单相AC220V供电,额定电流2.3A,额定功率500W |
| 主要检测范围 | 本设备通过对晶棒X轴、y轴的测量调整后实现晶棒粘接步骤 |
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