产品简介

专为晶棒切割前的精密定位而设计，创新采用双工位独立测量系统，可同步检测量晶棒X/Y轴差角度。配备直连式高精度主轴与光电传感结构，进一步提升机械运动精度，设备支持直径4/6/8寸晶棒的高稳定测量。1#工位提供修磨夹具定位，2#位配备粘接旋钮调节，实现测量-调整-加工全流程闭环。先进闪烁探测器确保信号纯净无干扰，配合低辐射X射线系统，为晶棒切割工艺提供可靠的角度基准。

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