产品简介

RSO30-01高精度晶向检测仪‌，专为晶棒、晶片的高精度晶向角度测量量身打造。 设备采用双工位灵活配置方案，可满足端面、柱面等多维度的检测需求；搭载高灵敏度闪烁探测器，信号捕捉精度更高，无杂峰干扰，保障检测结果纯净准确；支持单衍射、双衍射两种模式可切换选择，最高检测精度可达±0.004°，从根源保障测量数据稳定可靠；适配多规格样品，是半导体工业质量控制的理想选择。

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